在高端制造半导体、微电子设备制造、3D打印材料工艺、CNC精密加工、电化学表面处理、涂镀表面等工艺中，材料的表面粗糙度需要非常精 确地控制，以确保表面性能，因此表面粗糙度测量，成为质量标准管控的重要方法之一。也就是说涉及到材料表面处理加工工艺，都需要进行表面粗糙度测量。

常见材料表面粗糙度测量方法，依材料破坏程度可分为接触式和非接触式两大类。而依评估材料表面的质量和性能需求，粗糙度分析方法就非常多

针对较粗糙表面，一般采用摩擦测试法和触针式测量法，一是通过测量材料表面在与其他材料接触时的摩擦力来评估表面的粗糙度，另一是通过多个触针在材料表面上移动，测量触针与表面之间的位移或力的变化。

对于较光滑材料表面，激光干涉仪、扫描电子显微镜等光学测量法，可以观察材料表面的高度变化。

对于材料微观表面，则常用AFM和表面轮廓法来管控：AFM，原子力显微镜，利用尖锐的探针扫描材料表面，通过测量探针与表面之间的相互作用力来确定表面的粗糙度；表面轮廓法，面向大面积表面测量，利用一个机械或光学系统，沿着材料表面的特定路径扫描，并记录表面的高度变化。

作为材料表面粗糙度测试常用方法，表面轮廓法，常用检测设备有垂直扫描仪、光学显微镜、白光干涉仪等，其中大家zui为关注的就是白光干涉仪，主要利用白光干涉原理，测量材料表面的光程差，从而得出表面的高度变化，进而计算出粗糙度参数。白光干涉仪是表面轮廓法中常用的测量工具，得益于高精度、快速、非接触等优势：

高精度测量：白光干涉仪可以实现亚微米级的表面轮廓测量精度，能够准确地捕捉到材料表面的微小变化。

非接触式测量：白光干涉仪采用非接触式测量方式，不会对被测材料造成损伤，适用于对脆性材料和精密零件的测量。

快速测量：白光干涉仪的测量速度较快，可以在短时间内完成对大面积材料表面的测量，提高工作效率。

多参数测量：白光干涉仪可以同时测量多个表面参数，如表面粗糙度、平面度、曲率等，提供全面的表面质量评估。