优尔鸿信检测技术(深圳)有限公司
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超精密量测能力介绍(1)
发布时间:2024-11-22

精密量测测试服务项目

尺寸测量、电脑辅助验证(CAV)/逆向工程、齿轮检测、轴类零件形位公差检测(校准级)、表面粗糙度检测、3D微观形貌检测及分析。

一、白光干涉测量仪

设备基于Zygo®白光轮廓仪及特殊子孔径拼接技术(测量子孔径时,倾斜和旋转样品,确保测量光轴垂直于被测表面,zui大程度上减小误差),以非接触式,检测小型摄像头中非球面透镜。

白光干涉测量仪

设备特色:超高精密白光干涉测量、全方位3D形貌特征测量、5轴连动控制,避免角度过大测量误差、气浮减震腿,减少环境振动影响。

功能
非接触式三维干涉测量仪
技术
连续扫描干涉图形拼接法
能力
光学表面形态和纹理计算
光学表面偏离设计式计算
曲面顶点与基准特征的关系计算
轴数
X,Y,Z,P,R,C
镜头
光源单点白光LED
物镜2.5X(关系测量),20X(光学表面测量)
变焦
自动3位变焦
0.5X,0.75X,1.5X
分辨率1048*1048
分辨率
Z0.1nm
XY0.42μm
隔振装置
气动隔离
测量范围

旋转对称的球形或非球面透镜以及透镜模仁,

其形状测量为CA<8mm,关系测量为CA<

6.4mm



白光干涉测量仪应用领域

二、激光干涉测量仪

激光干涉测量仪

设备基于激光干涉原理与原子间力探头,以低测力接触式测量,检测中小型摄像头中非球面透镜与注塑模仁的2D形貌及相关尺寸参数。

激光干涉测量仪内部

设备特色:超高精密激光干涉+原子间力探头测量、曲面轮廓快速扫描测量、可反推曲面设计式用于超精密切削补正加工。

功能
接触式三维扫描测量仪
技术
激光干涉,原子间力探头
能力
光学表面形态计算
光学表面偏离设计式计算
曲面与基准面的关系计算
轴数
3轴(X,Y,Z)
探头
类型原子间力
测量力0.1mN--0.2mN(10mgf-20mgf)
测针大小
陶瓷:R0.5mm金刚石:R2μm
测量精度

测量面

倾斜角

≤30:±0.05μm

≤45:±0.06μm

≤60:±0.07μm

≤70:±0.10μm

测量zui大角
75度
测量范围
30*30*20mm(X*Y*Z)
测量速度
0.005-5mm/秒
数据采样大小

zui高:2000点/秒

zui大测量点:1000000点



激光干涉测量仪测量原理

激光干涉测量仪测量流程

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