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SEM扫描电子显微镜分析技术
发布时间: 2024-01-08 14:36 更新时间: 2024-05-02 08:10

在当今世界,SEM扫描电子显微镜分析技术,一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段,主要应用在半导体、材料科学、生命科学和纳米材料等领域。

SEM扫描电镜分析原理

该技术主要利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。

电镜分析图 来源:优尔鸿信

此外,扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。

SEM扫描电镜技术优势

SEM扫描电镜制样,相对来说较为简单,不需要过于复杂的处理过程,适用于各种类型的样品。

BGA电镜分析图 来源:优尔鸿信

  1. 高分辨率:SEM的分辨率比光学显微镜高得多,可以获得非常高的成像分辨率,通常可以达到亚微米甚至纳米级别的分辨率。

  2. 大视野:有很大的景深,视野大,成像富有立体感,SEM可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构,SEM也可以提供大视野的成像,可以同时获得样品的宏观形貌和微观结构信息。

  3. 连续可调放大倍数:SEM的放大倍数可以在较大的范围内连续可调,从而可以更加灵活地观察样品的不同细节。

SEM扫描电镜技术应用

SEM扫描电子显微镜,已经成为科研分析、产品质量控制的重要工具,广泛应用于各种领域,包括材料科学、生物学、地质学、医学和微电子等材料分析。

  • 材料表面分析:SEM可以提供材料表面的高分辨率图像,这对于理解材料的微观结构和性能至关重要。例如,可以通过观察断口、磨损表面或腐蚀表面来研究材料的力学性能。

  • 成分分析:配备能量色散X射线光谱仪(EDS)的SEM可以进行元素分析,这对于确定材料的化学成分和微观区域的元素分布非常有用。

  • 纳米材料分析:由于SEM具有纳米级的分辨率,因此在纳米材料的研究中有广泛的应用,包括纳米颗粒、纳米纤维、纳米薄膜等,同时通过对材料的微观观察,可以优化材料的加工工艺,提高产品的质量和性能。

  • 材料缺陷分析:SEM可以用于检测和分析材料中的微观缺陷,如裂纹、孔洞、夹杂、固体样品表面微区形貌观察、材料断口形貌及其内部结构分析、微粒或纤维形状观察及其尺寸分析、固体样品表面微区成分的定性和半定量分析。

  • 以上图片来自优尔鸿信华南检测中心,专 业扫描电镜分析实验室案例图像,后续分享场发射电镜、SEM在材料分析案例等,希望能够帮到更多正在攻关先进材料科研项目的企业朋友们。


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