SEM+EDS 扫描电镜+能谱分析金属材质异物分析-优尔鸿信

EDS，即能量色散X射线光谱分析技术，简称能谱仪（Energy Dispersive Spectrometer），是SEM（扫描电子显微镜）和TEM（透射电子显微镜）等成分分析的重要附件。它利用电子束与样品相互作用产生的X射线来进行元素的定性和定量分析。

EDS能谱分析的工作原理基于电子束聚焦在样品上时，电子与样品中的原子相互作用，激发出特征X射线。这些特征X射线的能量与样品中元素的种类有关，因此可以通过测量X射线的能量来确定样品中存在的元素。同时，特征X射线的强度可以反映元素的含量，从而实现定量分析。

EDS能谱分析具有多种优势。首先，它能快速完成元素的定性和定量分析，通常在几分钟内即可完成。其次，EDS适用于微小区域的成分分析，空间分辨率高，可以达到微米甚至纳米级别。此外，EDS分析过程中对样品的损伤较小，特别是对于易损伤的样品（如生物样品、快离子导体等）更为适用。Zui后，EDS能够同时分析样品中的多种元素，元素分析范围广泛，从Be到U的元素都可以进行分析。