精密量测测试服务项目
尺寸测量、电脑辅助验证（CAV）/逆向工程、齿轮检测、轴类零件形位公差检测（校准级）、表面粗糙度检测、3D微观形貌检测及分析。
一、白光干涉测量仪
设备基于Zygo®白光轮廓仪及特殊子孔径拼接技术(测量子孔径时,倾斜和旋转样品,确保测量光轴垂直于被测表面,zui大程度上减小误差),以非接触式,检测小型摄像头中非球面透镜。
设备特色：超高精密白光干涉测量、全方位3D形貌特征测量、5轴连动控制,避免角度过大测量误差、气浮减震腿,减少环境振动影响。
| 功能 | 非接触式三维干涉测量仪 | |
| 技术 | 连续扫描干涉图形拼接法 | |
| 能力 | 光学表面形态和纹理计算 | |
| 光学表面偏离设计式计算 | ||
| 曲面顶点与基准特征的关系计算 | ||
| 轴数 | X，Y，Z，P，R，C | |
| 镜头 | 光源 | 单点白光LED |
| 物镜 | 2.5X（关系测量），20X（光学表面测量） | |
| 变焦 | 自动3位变焦 | |
| 0.5X，0.75X，1.5X | ||
| 分辨率 | 1048*1048 | |
| 分辨率 | Z | 0.1nm |
| XY | 0.42μm | |
| 隔振装置 | 气动隔离 | |
| 测量范围 | 旋转对称的球形或非球面透镜以及透镜模仁， 其形状测量为CA＜8mm，关系测量为CA＜ 6.4mm | |
二、激光干涉测量仪
设备基于激光干涉原理与原子间力探头,以低测力接触式测量,检测中小型摄像头中非球面透镜与注塑模仁的2D形貌及相关尺寸参数。
设备特色：超高精密激光干涉+原子间力探头测量、曲面轮廓快速扫描测量、可反推曲面设计式用于超精密切削补正加工。
| 功能 | 接触式三维扫描测量仪 | ||
| 技术 | 激光干涉，原子间力探头 | ||
| 能力 | 光学表面形态计算 | ||
| 光学表面偏离设计式计算 | |||
| 曲面与基准面的关系计算 | |||
| 轴数 | 3轴（X，Y，Z） | ||
| 探头 | 类型 | 原子间力 | |
| 测量力 | 0.1mN--0.2mN（10mgf-20mgf） | ||
| 测针大小 | 陶瓷：R0.5mm金刚石：R2μm | ||
| 测量精度 | 测量面 倾斜角 | ≤30:±0.05μm ≤45:±0.06μm ≤60:±0.07μm ≤70:±0.10μm | |
| 测量zui大角 | 75度 | ||
| 测量范围 | 30*30*20mm（X*Y*Z） | ||
| 测量速度 | 0.005-5mm/秒 | ||
| 数据采样大小 | zui高：2000点/秒 zui大测量点：1000000点 | ||
